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准分子激光（英文：Excimer laser）是一种紫外气态激光，处于激发态的稀有气体和另一种气体（稀有气体或卤素）结合的混合气体形成的分子，向其基态跃迁时发射所产生的激光，称为准分子激光。准分子激光属于低能量激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，准分子预混气供应，寿命为几十纳秒，属于紫外光。常见的波长有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

使用准分子激光技术所进行的工业加工任务各不相同，这就促使了准分子激光气体在准分子激光技术产品具有更广的输出特性。本质上，所有的应用都要求具有高可靠性，准分子预混气体，激光寿命更长，运转成本更低。在三方面主要应用的促进下，激光器制造商已经取得了大量重要的技术进步。新一代的准分子激光器维护间隔时间更长，准分子预混气供应商，自动调节能力更先进，所需支的拥有成本也更低。

目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，济南准分子预混气，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积、物理气相沉积、磁头与光学镜片、硅晶圆的清洁、微机电系统相关的微制造技术等等。

准分子激光于90年代始在医学上得到运用，主要有：

眼科：使用193nm准分子激光进行LASIK手术，矫治屈光不正（近视、远视、散光）。

皮肤：使用308nm准分子激光治1疗白1癜风、银屑1病和过敏性皮炎。

心血管:准分子激光在心血管疾病中主要用于治1疗冠心1病、周围血管疾病、心脏瓣膜病、先天性1心脏病和肥厚性心肌病等。

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